XYY自动对位平台的技术原理是什么

当前最新型提供了一种曝光机自动对位平台系统XYY机构，包括了对位模组固定板、运动板、X方向移动装置、第一Y方向移动装置和第二Y方向移动装置，X方向移动装置、第一Y左右方向移动装置和第二左右Y方向移动装置分别与对应对位模组固定板、对该运动板活动连接，

       还包括设置在该对位模组固定板上的X方向动力装置、第一Y方向动力装置和第二Y方向动力装置，X方向动力装置带动X方向移动装置沿X方向往复运动，X方向移动装置带动该运动板沿X方向往复移位，第一Y方向动力装置带动第一Y方向移动装置沿Y方向往复运动，第一Y方向移动装置带动该运动板沿Y方向往复移位，第二Y方向动力装置带动第二Y方向移动装置沿Y方向往复运动，第二Y方向移动装置带动该运动板沿Y方向往复移位。

        X方向移动装置包括X方向移动板，X方向移动板与该运动板通过轴承活动连接，X方向移动板的下端面上设置有滑轨和滑槽，该滑轨沿该对位模组固定板上的第一固定板滑槽往复移动，该轴承的上方设置有滑块，该滑块沿该滑槽往复移动。

        第一Y方向移动装置包括第一Y方向移动板，第一Y方向移动板与该运动板通过轴承活动连接，第一Y方向移动板的下端面上设置有滑轨和滑槽，该滑轨沿该对位模组固定板上的第二固定板滑槽往复移动，该轴承的上方设置有滑块，该滑块沿该滑槽往复移动。

  

        第二Y方向移动装置包括第二Y方向移动板， 第二Y方向移动板与该运动板通过轴承活动连接，第二Y方向移动板的下端面上设置有滑轨和滑槽，该滑轨沿该自动对位平台模组固定板上的第三固定板滑槽往复移动，该轴承的上方设置有滑块，该滑块沿该滑槽往复移动

        X方向动力装置包括电机和与该电机固定连接的偏心轮，该偏心轮与X方向移动板之间通过弹簧连接，该弹簧消除该偏心轮与X方向移动板之间的间隙。

         第一Y方向动力装置包括电机和与该电机固定连接的偏心轮，该偏心轮与第一Y方向移动板之间通过弹簧连接，该弹簧消除该偏心轮与第一Y方向移动板之间的间隙。

        第二Y方向动力装置包括电机和与该电机固定连接的偏心轮，该偏心轮与第二Y方向移动板之间通过弹簧连接，该弹簧消除该偏心轮与第二Y方向移动板之间的间隙。

       新型有益效果：新型曝光机的对位系统XYY机构由一个X方向的轴向运动装置，搭配两个Y方向轴向运动装置，使自动对位平台系统的运动更为流畅，机构更为稳定个寿命的使用期，新型推进了曝光机对位系统的一大步技术进步。