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XYY对位平台的技术原理

2020-10-19 15:54:26

       当前最新式供给了一种曝光机自动XYY对位平台体系,包含了对位模组固定板、运动板、X方向移动设备、榜首Y方向移动设备和第二Y方向移动设备,X方向移动设备、榜首Y左右方向移动设备和第二左右Y方向移动设备别离与对应对位模组固定板、对该运动板活动衔接,

 

XXY对位平台


       还包含设置在该对位模组固定板上的X方向动力设备、榜首Y方向动力设备和第二Y方向动力设备,X方向动力设备带动X方向移动设备沿X方向往复运动,X方向移动设备带动该运动板沿X方向往复移位,榜首Y方向动力设备带动榜首Y方向移动设备沿Y方向往复运动,榜首Y方向移动设备带动该运动板沿Y方向往复移位,第二Y方向动力设备带动第二Y方向移动设备沿Y方向往复运动,第二Y方向移动设备带动该运动板沿Y方向往复移位。

 

        X方向移动设备包含X方向移动板,X方向移动板与该运动板经过轴承活动衔接,X方向移动板的下端面上设置有滑轨和滑槽,该滑轨沿该对位模组固定板上的榜首固定板滑槽往复移动,该轴承的上方设置有滑块,该滑块沿该滑槽往复移动。

 

        首先Y方向移动设备包含榜首Y方向移动板,榜首Y方向移动板与该运动板经过轴承活动衔接,榜首Y方向移动板的下端面上设置有滑轨和滑槽,该滑轨沿该对位模组固定板上的第二固定板滑槽往复移动,该轴承的上方设置有滑块,该滑块沿该滑槽往复移动。

 

        第二Y方向移动设备包含第二Y方向移动板, 第二Y方向移动板与该运动板经过轴承活动衔接,第二Y方向移动板的下端面上设置有滑轨和滑槽,该滑轨沿该自动对位平台模组固定板上的第三固定板滑槽往复移动,该轴承的上方设置有滑块,该滑块沿该滑槽往复移动

 

        X方向动力设备包含电机和与该电机固定衔接的偏心轮,该偏心轮与X方向移动板之间经过绷簧衔接,该绷簧消除该偏心轮与X方向移动板之间的空隙。

 

         榜首Y方向动力设备包含电机和与该电机固定衔接的偏心轮,该偏心轮与榜首Y方向移动板之间经过绷簧衔接,该绷簧消除该偏心轮与榜首Y方向移动板之间的空隙。

 

        第二Y方向动力设备包含电机和与该电机固定衔接的偏心轮,该偏心轮与第二Y方向移动板之间经过绷簧衔接,该绷簧消除该偏心轮与第二Y方向移动板之间的空隙。

 

       新式有益作用:新式曝光机的对位体系XYY组织由一个X方向的轴向运动设备,搭配两个Y方向轴向运动设备,使自动对位平台体系的运动更为流畅,组织更为安稳个寿数的使用期,新式推进了曝光机对位体系的一大步技术进步。

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