1、这是一种可以实现以平面上任意一点为中心，进行旋转运动的装置，并可沿着任意的方向平移。
此平台和视觉CCD纠偏系统对接在一起，可以很快完成高精度的纠偏工作，重复定位精度一般可达±1μm；
UVW平台和xyθ平台对比性：
1、控制精度高于xyθ平台；
2、UVW平台可以平面上任意一点为中心做旋转运动，而xyθ平台由于仅仅依靠一个电机的转动控制，所以旋转中心必须是固定在平台上某处，且必须随平台一同运动。
3、基于第二点的区别，显然UVW平台是需要一个绝对坐标系作为参考系，其旋转中心才有意义；而xyθ平台则必须是一个随平台动的坐标系作为参考系，控制计算方法便完全不一样。
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