● 超精密、多角度位调节、实现多维联动
● 采用进口精密轴承，实现倾斜水平调整
● 多维Z向倾斜调整，实现水平面可达0.003mm
● 水平调整后，可实现产品整体Z向上升。
● 材料表面硬质氧化处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命
● 实行激光干涉仪全检,保证滑台出厂精度与质量
| 产品尺寸规格 | |
| 产品尺寸（mm) | 上台面 310*310 |
| 下台面 320*320 | |
| 高 度 270±8 | |
| 平台级别(U P) | P级/U级 |
| 重复定位精度（mm) | ±0.003/±0.0015 |
| XY行程（mm） | ±10 |
| 旋转角度（ ° ） | ±3° |
| 倾斜角度（ ° ） | ±3° |
| Z向行程（mm） | ±8 |
| 水平精度（mm） | ±0.003 |
| 平面度（mm) | ±0.01 |
| 导轨类型 | 交叉导轨VR3型 |
| 水平负载（KG） | 80 |
| 本体材质 | 铝合金+钢体 |
| 表面处理 | 阴极亮黑 |
| 本体重量（KG） | 55±2% |
| 马达类型 | 闭环步进马达 57框 |
| 驱动器类型 | 两相步进驱动器 |
| 感应器类型 | 松下PM-L25 |
