当前最新式供给了一种曝光机自动XYY对位平台体系，包含了对位模组固定板、运动板、X方向移动设备、榜首Y方向移动设备和第二Y方向移动设备，X方向移动设备、榜首Y左右方向移动设备和第二左右Y方向移动设备别离与对应对位模组固定板、对该运动板活动衔接，

       还包含设置在该对位模组固定板上的X方向动力设备、榜首Y方向动力设备和第二Y方向动力设备，X方向动力设备带动X方向移动设备沿X方向往复运动，X方向移动设备带动该运动板沿X方向往复移位，榜首Y方向动力设备带动榜首Y方向移动设备沿Y方向往复运动，榜首Y方向移动设备带动该运动板沿Y方向往复移位，第二Y方向动力设备带动第二Y方向移动设备沿Y方向往复运动，第二Y方向移动设备带动该运动板沿Y方向往复移位。

        X方向移动设备包含X方向移动板，X方向移动板与该运动板经过轴承活动衔接，X方向移动板的下端面上设置有滑轨和滑槽，该滑轨沿该对位模组固定板上的榜首固定板滑槽往复移动，该轴承的上方设置有滑块，该滑块沿该滑槽往复移动。

        首先Y方向移动设备包含榜首Y方向移动板，榜首Y方向移动板与该运动板经过轴承活动衔接，榜首Y方向移动板的下端面上设置有滑轨和滑槽，该滑轨沿该对位模组固定板上的第二固定板滑槽往复移动，该轴承的上方设置有滑块，该滑块沿该滑槽往复移动。

        第二Y方向移动设备包含第二Y方向移动板， 第二Y方向移动板与该运动板经过轴承活动衔接，第二Y方向移动板的下端面上设置有滑轨和滑槽，该滑轨沿该自动对位平台模组固定板上的第三固定板滑槽往复移动，该轴承的上方设置有滑块，该滑块沿该滑槽往复移动

        X方向动力设备包含电机和与该电机固定衔接的偏心轮，该偏心轮与X方向移动板之间经过绷簧衔接，该绷簧消除该偏心轮与X方向移动板之间的空隙。

         榜首Y方向动力设备包含电机和与该电机固定衔接的偏心轮，该偏心轮与榜首Y方向移动板之间经过绷簧衔接，该绷簧消除该偏心轮与榜首Y方向移动板之间的空隙。

        第二Y方向动力设备包含电机和与该电机固定衔接的偏心轮，该偏心轮与第二Y方向移动板之间经过绷簧衔接，该绷簧消除该偏心轮与第二Y方向移动板之间的空隙。

       新式有益作用：新式曝光机的对位体系XYY组织由一个X方向的轴向运动设备，搭配两个Y方向轴向运动设备，使自动对位平台体系的运动更为流畅，组织更为安稳个寿数的使用期，新式推进了曝光机对位体系的一大步技术进步。